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真空镀膜机的制作方法

作者: 来源: 发布于:2019-9-27 15:00:51
在真空环境中,将材料加热并镀到基片上的技术为真空蒸镀。具体而言,真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程。真空蒸镀中的镀层通常为铝膜,但其它镀层也可通过蒸发沉积形成。然而,现有的镀膜机结构较为复杂且成本较高,无法充分适应工业化生产的需求,不利于降低镀膜产品的成本。

提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。

有益效果是:生产效率高、有利于降低镀膜产品的成本。



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