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真空镀膜系统的制作方法

作者: 来源: 发布于:2019-7-23
在现有的真空镀膜机中,安装在镀膜腔体中的加热装置多种多样,现有的用于真空镀膜的加热装置大多有加热效率不高,无法减轻操作负担、以及提高作业效率,受热不均等问题。

提供一种真空镀膜系统,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

真空镀膜系统优点:蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。


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